| 送交者: WHDX[☆品衔R4☆] 于 2023-09-11 20:10 已读 2314 次 1 赞 | WHDX的个人频道 |
传说中的清华大学EUV光源，工厂化方案建在雄安。这套系统输出功率>10KW，加速器长度~200米，宽度~20米，用分光器供几台甚至几十台EUV同时使用。非常暴力的用大型厂房替代光刻机的方案[中国赞]
这完全是超前思维的产物，是把EUV当做蒸汽、电源一样集中供应分布使用，光源成了公用资源，厂家只需布置机台就可以投入生产，机台价格因此可以降低很多，E∪V成了能源用多少就付费多少，既可以科研也可以生产。EUV光源国内至少三种方案共同研究，这套属于超前方案，最有想像力。
请点这里投票，“赞”助支持！