荷兰经济大臣与美国政府谈判争取放开对华光刻机出口限制 6park.com
9月6日，荷兰官宣限制光刻机出口中国，并中断光刻机维护服务。
随后，我国立即公布两条重磅消息。
9月9日，我国工信部官方网站公布《首台(套)重大技术装备推广应用指导目录(2024年版)》，其中就包括氟化氪光刻机和氟化氩光刻机，后者分辨率达到65nm。
9月10日，上海微电子装备（集团）股份有限公司申请公布一项名为“极紫外辐射发生装置及光刻设备”的发明专利，专利申请日期为2023年3月9日，申请号为CN2023 1022 6636.7。
这两条重磅信息实际上就相当于官方亮出底牌：我国DUV光刻机都开始量产推广了，还怕无法自行维修吗？很快我都能自己量产分辨率达38nm的最先进水平DUVi光刻机了。现在再不赶紧卖，以后我国就真不需要了！而最难的EUV光刻机，我也突破了最难的EUV光源模块，你猜我造出整机了没？
或许是因为受到这两条重磅消息刺激，荷兰政府很快就有大动作了。
当地时间9月23日，据路透社报道，荷兰经济事务大臣德克·贝亚茨访问美国，争取放开对华光刻机出口限制和维修服务限制。
外界推测，荷兰政府希望美国不要限制荷兰光刻机出口，否则荷兰光刻机将失去中国市场，美国光刻机零部件供应商也将跟着利益受损。 6park.com