2023年初，有网友发布5条关于国产光刻机的消息（图1），现在回头看，部分已经得到证实！
9月9日，工信部就发布了《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录（2024年版）》，在集成电路生产设备一栏当中，就有公示一款氟化氪光刻机和一款氟化氩光刻机。其中氟化氩光刻机的参数就显示分辨率≤65nm，与网友发布的消息刚好对上。而所谓90nm光刻机，上海微电子官方网站早已公开展示其主要参数。既然第二代ArF光刻机都已经成熟可用，那么第一代ArF光刻机自然也是成熟可用的。因此第一条消息和第二条消息基本可以判定为真。
第三条消息可以看成是第一代国产ArFi光刻机，支持55nm以下制程工艺，有潜力支持7nm制程工艺。鉴于日本专业机构对华为麒麟9010拆解后发现其套刻对准标志与以往任何一款已知光刻机型号都不一样，推测这款处理器采用国产第一代ArFi光刻机量产。
相信过不了多久，第三条消息就能判定为真！
从0～1是最难的，从1～N往往很快，在此大胆预测，很快第二代ArFi光刻机就会进入产线验证！ 6park.com