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中国国家知识产权局于9月10日披露了一项名为“极紫外辐射发生装置及光刻设备”的发明专利,内容涉及极紫外辐射(EUV)发生装置及光刻设备,申请者为上海微电子装备(集团)股份有限公司。 6park.com | |||
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