有文章说马上要突破ArFi，这是一个很振奋的消息。我来简单说一下，上海微电子已经定型、出售的ArF光刻机。没必要吹捧，也没必要贬低。不要小看了28nm产业链的全国产化。放眼世界，唯一能做到只有中国和美国。 6park.com

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还是从那个简单的公式说起 6park.com
CD = k1 x wavelength / NA 6park.com
既然是ArF，wavelength就定了，193nm。有些人动不动就讲微电子落后，落后一代或者两代。对标早期的KrF，这算两代了吧，NA 0.8，K1 0.413。这么算一下，CD 为100，强于ASML的KrF，弱于ASML最新的ArF。上海微电子公布的CD是90nm。这个在半导体领域没人怀疑。把上海微电子说的再落后一点儿，NA只有0.65，K1只有0.48，只达到ASML i-line产品的水平，CD高达143。143/2/4=18nm，这也基本满足了28nm制程的需求。 6park.com

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上海微电子被美国制裁了，出品的光刻机只能使用国产部件、国内技术。光刻机还出售给了被美国制裁的中国企业，比如中芯国际。上海微电子的光刻机就必须能使用国产、国内技术的耗材，因为给中芯国际提供耗材也是被制裁的。这就又推出，提供耗材的中国企业也得最大限度的使用国产设备、国内技术。美国的制裁反对印证了中国能自主28nm制程了。 6park.com

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对华为的制裁的升级过程，也能印证大陆国产化、自主知识产权的水平。制裁先是经历了，美国技术不能超过25%，10%和完全禁止美国技术3个阶段，但是ASML还能继续向中国Fab提供ArFi，甚至2000系列，台积电还能继续为华为代工。直到最后，禁止向华为提供任何代工、技术、服务、产品。这证实了，7nm制程不需要美国技术、服务。经过4年努力，7nm麒麟芯片量产，EDA软件还是华为自己开发的。这说明大陆的代工厂工艺水平达到了很高的水准。反推回去，用性能足够的上海微电子ArF和国产设备、材料，实现28nm是手拿把攥的事情。 6park.com

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不光ASML，还有applied material，KLA，Lam reseach，TEL...这还只是设备厂商。华为的麒麟芯片不是一锤子买卖，还有升级的麒麟和7nm的AI CHIP。说明华为、中芯国际都在准备这些设备的国产替代。降维到14nm不敢确定，毕竟国产的ArFi还没有定型，但28nm制程，美国已经不具备限制能力了。这就难怪ASML的CEO说，别限制中国生产成熟制程或者传统芯片了。 6park.com

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还有一个非常有意思的例子，美国、台湾评论大陆成熟制程有个“巨大”的区别。台湾专家讲大陆成熟制程时说14nm以上，而美国专家说28nm以上。 6park.com