上海微电子193nm ArF光刻机是标准的14nm设备。
根据公布的信息,上海微电子193nm ArF光刻机对标的是ASML NXT 2000i。ASML宣布的禁运是2000i和后续产品。当初你们质疑、怀疑大陆,SMIC能不能实现14nm制程时,我就告诉过你们。大陆14nm制程没问题,需要突破的是国产的14nm设备,来实现全国产化的14nm制程。上海微电子193nm ArF的目标就是这个。而且,我还早就告诉过你们,禁运DUV和EUV目的不同,禁运EUV是限制7nm及以下的技能,限制高端DUV是延缓大陆14nm的产能,而不是技能。上海微电子的新产品将打破美国对高端DUV的禁运。 6park.comASML 193nm ArF还有1980系列的产品,是最典型的28nm制程设备,不在禁运之列。有人怀疑大陆能不能实现28nm时,我就告诉过你们,大陆恨不得连28nm的设备都不怕美国禁运了。ASML最新的限制基本就证实了这一点。福建晋华被制裁,无法从外部获得设备,原料,市场,但晋华已经28nm工艺量产了。 6park.com至于上海微电子193nm ArF光刻机能不能实现7nm制程,我再讲一个事实。TSMC第一代7nm制程是用ASML的NXT:1980Di实现的。这也就是,业内人士都不怀疑SMIC能实现7nm制程,想知道是产能和良率。 6park.com美国没有指定型号进行限制,是对性能,non-planar transistors on 14nm/16nm nodes and below, 3D NAND with 128 layers or more, and DRAM memory chips of 18nm half-pitch or less。1980Di,1980Ei都能满足这个性能要求,但ASML宣布的禁运不包括1980,也能说明中国攻克了14nm技术。 6park.com大陆人总以为自己特厉害,中共什么都不行,少看些中文自媒体,就知道中共要厉害的多得多。美光2018年开始指控晋华,上海精测2018年成立,2022年中标晋华300mm晶圆28nm工艺用的扫描式电子显微镜。晋华也在2022年实现了量产。说明大陆具备了独立实现28nm的能力,这也就是为什么美国对北斗、龙芯等等连打压的心思都没有的原因。
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