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长春光机所成功研制出工程化六镜极紫外光刻投影物镜，获省科学技术一等奖提名
送交者: 笑鸠[♂★★★声望勋衔14★★★♂] 于 2023-04-18 18:38 已读 1762 次 8 赞  

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长春光机所在研制成功国内第一套两镜EUV光刻原理装置后，又成功研制出工程化六镜极紫外光刻投影物镜，获得2023年度吉林省科学技术一等奖提名
2023年度吉林省科学技术奖提名项目【公示】 6park.com
极紫外光刻光学技术 6park.com
1金春水,2王丽萍,3王辉,4张海涛,5于杰,6喻波,7周烽,8郭本银,9姚舜,10马冬梅,11李春,12邓文渊,13谢耀,14刘钰,15苗亮 6park.com
吉林省科技进步一等奖 6park.com
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
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