ASML怕了吗?Canon的新芯片制造机 价格比EUV少一位数
日本Canon计划将最新推出的「纳米压印」机的价格,订在比艾司摩尔最先进的EUV曝光机少一位数。 (路透)佳能(Canon)公司计划将最新推出的芯片制造设备的价格,订在比艾司摩尔(ASML)最先进的极紫外光(EUV)曝光机少一位数,以抢攻尖端芯片设备市场。
彭博资讯报导,佳能的「纳米压印」微影设备,能让较小型的芯片制造业者也能够生产先进芯片。佳能首席执行官御手洗富士夫表示,「价格将比艾司摩尔的EUV机具少一位数」,最终订价尚未决定。
由于日本对芯片制造设备的出口限制中并未点名纳米压印机具,因此佳能10月推出的这项新产品有可能外销中国大陆。不过御手洗表示,佳能可能无法对中国出口机具。他说,「我的了解是,禁止对中国出口任何能制造小于14纳米芯片的科技,因此我不认为我们将能够出售」。日本官员表示不能对此发表看法。
佳能的机具是将电路型态直接压印在晶圆上,效果与最先进的科技无二,不过制造芯片的速度较慢,可以让台积电及三星等厂商生产较小量的芯片;佳能新机具的耗电量是EUV的十分之一。
御手洗并指出,「我并不预期纳米压印科技能取代EUV,但我相信这能创造新的商机及需求。我们已经接到许多客户的询问」。
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