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1965年研制出第一台光刻机。1980年,清华大学开发出第四代分布式投影光刻机,这台设备精度达到3μm1980年代放弃电子工业,导致20年技术积累,全部付诸东流。1994年武汉无线电元件三厂破产改制,卖副食品去了。 6park.com1978年12月26日,常州半导体厂建成中国第一座大规模集成电路洁净车间。1980年台湾联华电子才刚刚成立。由于国家放弃电子产业升级投资,导致该厂迅速没落,到1993年已经破产倒闭。 6park.com1980年上海冶金所研制的离子注入机,出口日本。到2001年冶金所就不叫冶金所改叫中国科学院上海微系统与信息技术研究所了,说是不搞冶金就没法再叫冶金所了。
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